制造商：德国卡尔蔡司公司

【总体描述】

    SUPRA 55 SAPPHIRE是一款拥有第三代GEMINI镜筒的高性能场发射电子显微镜，它有*的摆动缓冲系统，并结合了5轴驱动载物台，通过不断变换电压可以获得很高的分辨率。
对于使用者来说，SUPPRA 55 SAPPHIRE的系统功能强大，可以在性对不稳定的环境下完成检测，完全分析型的场发射扫描电镜探针电流可达到20nA，适用范围如材料领域、半导体技术、生命科学和纳米技术领域等。

    ZEISS的场发射扫描电镜全部采用新一代专利镜筒(GEMINI)设计，具有优良的高、低加速电压性能。
创新的InLens设计是目前世界上唯一真正的内置镜筒电子束光路上二次电子探测器，具有佳的灵敏度和高的接收效率，而且只接收来自样品表面的二次电子，因此具有业界高等级的分辨率和图像质量。
二次电子探测器和背散射电子探测器均内置于镜筒电子束光路上，试样的工作距离不受背散射探测器的影响，可以非常接近极靴，这样可以同时获得高的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率，且接收的背散射电子的能量可以控制。
ZEISS的场发射扫描电镜创造性的采用电磁、静电复合式物镜，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率成像。

【技术参数】
分辨率：   0.8nm@ 15KV    
           1.6nm @ 1KV           
           2.0nm @ 30KV(VP mode)
放大倍数： 12 - 1,000,000x
加速电压： 0.02 - 30 KV
探针电流： 4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA 可选)
样品室：   330 mm (φ) x 270 mm (h)
样品台：   5轴优中心全自动 
                 X = 130mm 
                 Y = 130 mm 
                 Z = 50mm 
                 T = -3 to 70° 
                 R = 360°连续旋转
系统控制：基于Windows XP 的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制

 【产品应用】
      扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。
在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。